英国爱德华STP-iX455
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价格: 面议
产品型号:英国爱德华STP-iX455 涡轮分子泵 ISO100K PT640Z010
公司名称:昆山熙日机械设备有限公司
地:江苏昆山
发布时间:2017-03-09
昆山熙日机械设备有限公司
产品简介
STP 泵(带集成控制器) STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的首选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴,确保无污染的风险,同时将振动、噪声以及维护需求降至最低。STP 泵可与各种先进的控制器全面连接,从而可用于多种应用和制程中。 英国爱德华STP-iX455 涡轮分子泵 ISO100K PT640Z010 英国爱德华STP-iX455 涡轮分子泵 ISO100K PT640Z010
产品详情

STP 泵(带集成控制器)

STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的首选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴,确保无污染的风险,同时将振动、噪声以及维护需求降至最低。STP 泵可与各种先进的控制器全面连接,从而可用于多种应用和制程中。

概述

STP-iX455 涡轮分子泵具有创新性磁力轴承和电机驱动系统,与上一代涡轮泵相比将振动降低了 50%。采用集成的控制器,不需要使用传统的安装于机架上的控制器及互连电缆,不需要水冷却。
此泵的氮气抽速为 450 ls-1。STP-iX455 极为适合电子显微镜、度量学、光刻和其他对振动敏感的应用。

应用

  • 金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
  • 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
  • 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 溅射
  • 离子注入源,射束线泵送端点站
  • MBE
  • 扩散
  • 光致抗蚀剂脱模
  • 晶体/晶膜生长
  • 晶片检查
  • 负载锁真空腔
  • 科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜
  • 高能物理:射束线、加速器
  • 放射线应用:融合系统、回旋

功能和优势

  • 紧凑型设计,包括完全集成的控制器
  • 创新性自传感轴承系统
  • 数字化 5 轴控制
  • 与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
  • 可以配置为运行腐蚀性制程
  • 自动平衡系统 (ABS) 标准
  • 自动减振 (AVR) 标准
  • 列于 UL 中,具有 CE 标记,符合 SEMI® S2

技术数据

入口法兰 ISO100K
抽速
N2 300 ls-1
H2 300 ls-1
压缩比
N2 >108
H2 >1 x 104
极限压力 6.5 x 10-6 Pa
最大工作压力 1.3 x 10-1 Pa
允许的前级压力 67 Pa
额定速度 55000 rpm
启动时间 <6 分钟
固定位置 任何方向
冷却方法 自然冷却(加热和气体泵送时进行水冷却或空气冷却)
润滑油 不需要
前级泵 240 lmin-1
泄露磁通量
轴向方向 <100 m/Gauss
径向方向 <100 m/Gauss
环境温度范围 0 至 40 °C
存储温度范围 -25 至 55 °C
重量 15 kg
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