英国爱德华EDWARDS涡轮分子真空泵STP-L301
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价格: 面议
产品型号:STP-L301 ISO100 入口 B75800090
公司名称:昆山熙日机械设备有限公司
地:江苏昆山
发布时间:2017-03-12
昆山熙日机械设备有限公司
产品简介
超高真空 STP 泵 STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的首选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴,确保无污染的风险,同时将振动、噪声以及维护需求降至最低。STP 泵可与各种先进的控制器全面连接,从而可用于多种应用和制程中。 英国爱德华EDWARDS涡轮分子真空泵STP-L301 ISO100 入口 B75800090 英国爱德华EDWARDS涡轮分子真空泵STP-L301 ISO100 入口 B75800090
产品详情

超高真空 STP 泵

STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的首选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴,确保无污染的风险,同时将振动、噪声以及维护需求降至最低。STP 泵可与各种先进的控制器全面连接,从而可用于多种应用和制程中。

概述

Edwards STP-L301 用于电子显微镜和半导体应用。Edwards 的转子技术可实现一流的性能,最大的制程灵活性。

应用

  • 金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
  • 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
  • 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 溅射
  • 离子注入源,射束线泵送端点站
  • MBE
  • 扩散
  • 光致抗蚀剂脱模
  • 晶体/晶膜生长
  • 晶片检查
  • 负载锁真空腔
  • 科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜
  • 高能物理:射束线、加速器
  • 放射线应用:融合系统、回旋

功能和优势

先进的转子技术  
  • 最大的制程灵活性
  • 无油
  • 低振动
  • 高度可靠
  • 免维护
先进的控制器设计  
  • 自动调整
  • 自行诊断功能
  • 直流电机驱动
  • 无电池运行
紧凑型设计  
  • 占地面积小
  • 半机架控制器
低振动  
  • 内置振动隔离系统提供了优于 STP301C 和外部隔离器的性能。

技术数据

入口法兰 ISO100,CF100
出口 KF25
吹扫口 KF10
抽速
  N2 260 ls-1
  H2 290 ls-1
压缩比
  N2 >108
  He 5 x 105
  H2 2 x 104
加热时的极限压力(VG/ISO 法兰) 6.5 x 10-6 Pa

(5 x 10-8 Torr)
加热时的极限压力(ICF 法兰) 10-8 Pa

(10-10 Torr)
最大允许进气口压力(环境空气冷却) 6.7 x 10-2 Pa

(5 x 10-4 Torr)
最大连续出口压力(环境空气冷却) 13 Pa

(0.1 Torr)
额定速度 48000 rpm
启动时间 3 min
最高入口法兰温度 120 °C
输入电压 100 至 120 (± 10) V 交流或

200 至 240 (± 10) V 交流
启动时的功耗 0.55 kVA
泵重量 13 kg
控制器重量 7 kg
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