英国爱德华iH80

概述

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

应用

负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

有关任何特定应用条件下 iH 系统稳定性的建议，请与 Edwards 联系。

功能和优势

优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

技术数据

峰值速度	103 m3h-1
	61 cfm
	1717 l min-1
极限真空	1 x 10-2 mbar
	7.5 x 10-3 Torr
	1 Pa
典型轴封氮流量	4 slm
进气口连接	ISO63
出口连接	NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量	120 l h-1
	2 l min-1
重量	240 kg
极限功率输入	2.7 kW
电机额定功率	3.5 kW
油容量	0.7 l

所有数字均为无气镇时的典型值。