四探针测试仪/便携式四探针测定仪
二、四探针测试仪/便携式四探针测定仪概述
四探针测试仪/便携式四探针测定仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。
四探针测试仪/便携式四探针测定仪仪器成套组成:由主机、选配的四探针探头等二部分组成,也可加配测试台。
主机主要由数控恒流源,高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成,自动转换量程。仪器所有参数设定、功能转换全部采用一旋钮输入;具有零位、满度自校功能;全自动转换量程;测试结果由数字表头直接显示。本测试仪采用可充电电池供电,适合手持式变动场合操作使用!
探头选配:根据不同材料特性需要,探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头,以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻;也有球形镀金铜合金探针探头,可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜(ITO膜)或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具,还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头,也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。
四探针测试仪/便携式四探针测定仪详见 表2《四探针探头型号规格特征选型参照表》点击进入
仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、结构紧凑、使用简便等特点。
仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。
三、四探针测试仪/便携式四探针测定仪基本技术参数
1. 测量范围、分辨率
电 阻: 0.010 ~ 9999Ω, 分辨率0.001 ~ 1 Ω
电 阻 率: 0.010~ 2000Ω-cm, 分辨率0.001 ~ 1 Ω-cm
方块电阻: 0.050~ 2000Ω/□ 分辨率0.001 ~ 1 Ω/□
2. 材料尺寸
手持方式不限材料尺寸,但加配测试台则由选配测试台和测试方式决定
直 径:SZT-A圆测试台直接测试方式 Φ15~130mm。
SZT-C方测试台直接测试方式180mm×180mm。
长(高)度:测试台直接测试方式 H≤100mm。.
测量方位: 轴向、径向均可.
3. 量程划分及误差等级
量程(Ω-cm/□)
9.999
99.99
999.9
9999.
电阻测试范围
0.010~9.999
9.99~99.99
99.99~999.9
999.9~9999
电阻率/方阻
0.010/0.050~9.999
9.99~99.99
99.99~999.9
999.9~2000
四探针测试仪/便携式四探针测定仪基本误差
±1%FSB±2LSB
±2%FSB±2LSB
4) 适配器工作电源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W,或电池供电
5) 外形尺寸:W×H×L=18cm×7.5cm×13cm
净 重:≤0.5kg
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