三温区三路气体CVD系统图片操作规范使用三博仪器仪表厂家

性能特点：AAAG-03
多温区管式炉是用氧化铝纤维板材料重量轻，保温效果好。管式电炉升温速度快，节能50%以上，省时1倍。适用于在氧化条件下或在真空气氛条件下的升温实验.具有抗干扰能力强，控制精度高，冲温值小的特点与箱式电炉相比智能控制仪，管式电炉仪表采用模块化结构，EMI抑制技术模糊PID调节，具有抗干扰能力强，控制精度高，冲温值小。管式电炉具有手动＼自动无干扰切换控制参数自整定功能,可编程满足50个时段连续控温和恒温的要求，实现定时自动升温和恒温。三温区三路气体CVD系统图片操作规范使用三博仪器仪表厂家三温区三路气体CVD系统图片操作规范使用三博仪器仪表厂家
三温区管式炉技术参数：

1	产品型号	TN-G1700S
2	炉膛	高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好。
3	炉管尺寸	Φ60×1200mm
4	加热元件	温区1温区3-优质硅碳棒，温区2优质硅钼棒
5	测温元件	温区1温区3 S级，温区2 B级
6	控温方式	温度控制采用三个高精度30段数字控温仪独立控制，具有PID调节、自整定功能，30段升降温程序
7	密封方式	不锈钢法兰密封
8	真空系统	高真空系统组（达到技术要求）
9	工作温度	温区1温区3≤1400℃ 温区2≤1700℃
10	温度	温区1温区3≤1450℃ 温区2≤1750℃
11	恒温精度	±1℃
12	恒温区长度	总加热区长度不小于 25〞
13	建议升温速度	温区1温区3 20℃/min 温区2 10℃/min
14	气体流量系统	三通道质量流量控制系统（达到技术要求）
15	额定功率	10KW

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