SpectraThick series的特点是非接触, 非破坏方式测量，无需样品的前处理，软件支持Windows操作系统等。ST series是使用可视光测量wafer，glass等substrates上形成的氧化膜，氮化膜，Photo-resist等非金属薄膜厚度的测厚仪测量原理如下

　　在测量的wafer或glass上面的薄膜上垂直照射可视光，这时光的一部分在膜的表面反射，另一部分透进薄膜，然后在膜与底层 (wafer或glass)之间的界面反射。这时薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象。SpectraThick series就是利用这种干涉现象来测量薄膜厚度的测厚仪

　　光学薄膜测厚仪的光源使用Tungsten Lamp，波长范围是400 nm ~ 800 nm。从ST2000到ST7000使用这种原理，测量面积的直径大小是4μm ~ 40μm (2μm ~ 20μm optional)。ST8000-Map作为K-MAC (株) 最主要的产品之一，有image processs功能，是超越一般薄膜厚度测量仪器极限的新概念上的厚度测量仪器。测量面积的最小直径为0.2μm，远超过一般厚度测量仪器的测量极限 (4μm)。顺次测量数十个点才能得到的厚度地图 (Thickness Map) 也可一次测量得到，使速度和精确度都大大提高。这一技术已经申请专利。

　　K-MAC (株) SpectraThick series的又一优点是一般测厚仪无法测量的粗糙表面 (例如铁板，铜板) 上形成的薄膜厚度也可以测量。这是称为VisualThick OS的新概念上的测量原理。除测量薄膜厚度外还有测量透射率，玻璃上形成的ITO薄膜的表面电阻，接触角度 (Contact Angle) 等的功能。

　　对于新涂装的涂料进行湿膜厚度的测量是非常重要的。一方面，湿膜厚度影响产品的涂装质量，另一方面过厚的涂装将会很昂贵。按照不同的施工方法，建议使用湿膜仪测量湿膜厚度。BYK-Gardner提供梳子状或阶梯状的湿膜测厚仪(梳规)。湿膜梳子状该梳子测厚仪是尺状的，在六个面的两端都有支撑基点，每个面均有不同长度的齿。六角型的测厚仪由耐腐蚀的不锈钢制成。