气体质量流量控制器M3090A

2010/8/19 9:58:13

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气体质量流量控制器M3090A，采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，无需温度压力补偿。气体质量流量控制器M3090A是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体流量的稳流装置，能在较宽的量程范围内快速而精确地控制气体流量。即使系统压力有波动或环境温度有轻微的变化，也不会影响其正常的工作。

气体质量流量控制器M3090 A产品亮点：

-类    型：MFC气体质量流量控制器 -控制范围：10sccm ～ 20slpm (sccm:标准毫升/分 slpm:标准升/分)   -准度等级: ±1% F.S -耐    压：≤90bar -标准接口：0-5VDC，4-20mA可选 -响应时间：≤2sec -使用范围：2~100%for max range -供电电源：+15~+28Vdc, 350Ma -漏    率：1×10-9atm·cc/sec -气路连接：1/4”SWG，1/8”SWG，3/8”SWG，1/4”VCR

-适用介质：所有气体（含腐蚀性气体和有毒气体）

-无需温度、压力补偿

 

气体质量流量控制器M3090A

 

产品型号 M3090V M3090A   流量范围 (N2)  10sccm ～20slpm  10sccm ～20slpm   响应时间  ≤2秒   ≤2秒   准确度   ≤±1% 满量程   ≤±1% 满量程  重复精度   ≤±0.25% 满量程  ≤±0.25% 满量程  输出输入信号  0~5Vdc   0~5Vdc或4~20毫安   供电  +15~+28Vdc，350毫安   +15~+28Vdc，350毫安   耐压   ≤90bar  ≤90bar  工作环境温度   0~50°C   0~50°C

应用领域：
－分析仪器    －干刻（RIE/DRIE）    －燃料电池
－生物技术    －气相色谱分析        －等离子刻蚀
－激光焊机    －混气配气系统        －微反应装置
－真空镀膜    －过程自动化          －石化工业

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