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风机过滤单元/层流送风单元/FFU/空气过滤单元/空气过滤机/百级层流罩统称:层流罩
1 FFU及其性能
FFU是FAN FILTERUNIT的缩写,中文称作“风机过滤器单元”也就是将风机和过滤器(高效过滤器(HEPA)或超高效过滤器(ULPA))组合在一起构成自身能提供动力的末端净化设备。过去在洁净工程中常用的带风机的高效过滤器的送风口,自净器,层流罩等都是FFU的一种。不过,现在所说的FFU是具有标准模数尺寸,能按模数组合起来实现1级、10级、100级、1000级等不同级别的洁净室的净化单元设备。目前,国内、外常用的模数有1200X6mm(4英尺X2英尺)、1200X900mm(4英尺X3英尺)、1200X 1200mm(4英尺X4英尺)、其厚度多在300-400mlTl。
FFU一般由以下四部分组成:风机、过滤器、机壳、电器控制元件。 层流罩|FFU风机过滤单元的技术应用
2 FFU的应用
2.1 适应性
2.2 经济性
2.3 风量和余压
2.4 噪声
2.5 控制
2.6 维护管理
3 FFU的选择
3.1 试验方法和试验装置, 层流罩|FFU风机过滤单元的技术应用
3.2 结果分析
(1)FU机组内的高效过滤器的初阻力均不相同,大约在120—150Pa之间。
(2)当高效过滤器为初阻力,且保证FFU送风断面风速为0.35m/s时,不同FFU的机外余压均在100Pa左右,有的高达130Pa。
当FFU送风断面风速为0.45m/s时,各机组的机外余压,都能在60Pa以上。
当FFU送风断面风速为0.45m/s时,被测的FFU的机外余压都是足以克服循环通道上的阻力。
(3)FFU的声压级噪声大多在57dB(A)~59dB(A)之间。比较好的品牌其噪声在54dB(A)。
(4)各不同晶牌的FFU的能耗大多在160~180W,只有个别品牌的能耗大,高达350W是一般能耗的一倍。
早在二十世纪六十年代,第一个层流室的建立就已经开始出现FFU的应用了。但直到1984年,在亚洲才出现大规模应用FFU的事例(大约有5000台)。是什么原因导致FFU在这么长的时间没有得到广泛的发展呢?有三个问题占主导地位。
第一:噪声问题。各位可以想一想,在当时的生产工艺水平下,5000台风机在一起的噪声会是多大呢?
第二:压力平衡。在很大的静压箱里,每一个不同角落的风机是否能得到均衡的压力,这在当时也是不能够得到保证的。
第三:维护问题。FFU本身造价就比较高,如果它的电机寿命不能保证的话,更换又会带来附加投资。这些都是造成当时的企业不选择使用FFU的主要原因, 层流罩|FFU风机过滤单元的技术应用。
但是这一切,在1984年都发生了改变。首先是噪声问题得到了控制,大规模的FFU洁净厂房都可以把噪声控制在65DBA以下,这符合工业厂房的标准。其次随着自动控制的发展,监测和调节各个角落的静压也变得容易起来。最后电机的寿命随着技术的提高也得到了质的飞跃。
现在,随着半导体电子技术的发展,越来越密集的集成电路也要求着越来越高的洁净等级, 层流罩|FFU风机过滤单元的技术应用。