早在二十世纪六十年代，第一个层流室的建立就已经开始出现FFU的应用了。但直到1984年，在亚洲才出现大规模应用FFU的事例(大约有5000台)。是什么原因导致FFU在这么长的时间没有得到广泛的发展呢?有三个问题占主导地位。

　　第一：噪声问题。各位可以想一想，在当时的生产工艺水平下，5000台风机在一起的噪声会是多大呢?

　　第二：压力平衡。在很大的静压箱里，每一个不同角落的风机是否能得到均衡的压力，这在当时也是不能够得到保证的。

　　第三：维护问题。FFU本身造价就比较高，如果它的电机寿命不能保证的话，更换又会带来附加投资。这些都是造成当时的企业不选择使用FFU的主要原因。

　　但是这一切，在1984年都发生了改变。首先是噪声问题得到了控制，大规模的FFU洁净厂房都可以把噪声控制在65DBA以下，这符合工业厂房的标准。其次随着自动控制的发展，监测和调节各个角落的静压也变得容易起来。最后电机的寿命随着技术的提高也得到了质的飞跃。

　　现在，随着半导体电子技术的发展，越来越密集的集成电路也要求着越来越高的洁净等级。

　　第一、灵活性。因为FFU是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里，可根据需要，分区控制。而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。

　　第二、可再利用性。从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。

　　第三、负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于洁静厂房负压。这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里，使得密封变得很简单而且安全。

　　第四、缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用FFU成为了一种可能。

　　第五、减少运行成本。虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的表现出节能、免维护等特点。用大循环减少40%的运行成本。

　　风机过滤单元/层流送风单元/FFU/空气过滤单元/空气过滤机/百级层流罩统称 ：层流罩

　　1 FFU及其性能

　　FFU是FAN FILTERUNIT的缩写，中文称作“风机过滤器单元”也就是将风机和过滤器(高效过滤器(HEPA)或超高效过滤器(ULPA))组合在一起构成自身能提供动力的末端净化设备。过去在洁净工程中常用的带风机的高效过滤器的送风口，自净器，层流罩等都是FFU的一种。不过，现在所说的FFU是具有标准模数尺寸，能按模数组合起来实现1级、10级、100级、1000级等不同级别的洁净室的净化单元设备。目前，国内、外常用的模数有1200X6mm(4英尺X2英尺)、1200X900mm(4英尺X3英尺)、1200X 1200mm(4英尺X4英尺)、其厚度多在300-400mlTl。

　　FFU一般由以下四部分组成：风机、过滤器、机壳、电器控制元件。

　　2 FFU的应用

　　2.1 适应性

　　2.2 经济性

　　2.3 风量和余压

　　2.4 噪声

　　2.5 控制

　　2.6 维护管理

　　3 FFU的选择

　　3.1 试验方法和试验装置

　　3.2 结果分析

　　(1)FU机组内的高效过滤器的初阻力均不相同，大约在120—150Pa之间。

　　(2)当高效过滤器为初阻力，且保证FFU送风断面风速为0.35m/s时，不同FFU的机外余压均在100Pa左右，有的高达130Pa。

　　当FFU送风断面风速为0.45m/s时，各机组的机外余压，都能在60Pa以上。

　　当FFU送风断面风速为0.45m/s时，被测的FFU的机外余压都是足以克服循环通道上的阻力。

　　(3)FFU的声压级噪声大多在57dB(A)～59dB(A)之间。比较好的品牌其噪声在54dB(A)。

　　(4)各不同晶牌的FFU的能耗大多在160～180W，只有个别品牌的能耗大，高达350W是一般能耗的一倍。