GDR滚筒式等离子处理机的应用

2015/2/10 10:28:18

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>> 产品特点 
   滚筒式等离子处理系统,由触摸电脑+PLC多步流程全自动控制,全电路检测,用于颗粒状材料清洗、刻蚀、活化、接枝处理,动态旋转，处理均匀，无死角，可选择中频、射频、微波等离子处理模式。
>> 技术参数
 ◆ 外形尺寸(不包括报警灯)
    1903(W)×980(D)×2075(H)mm
 ◆ 仓体结构(合金铝，约150升)
    500(W)×500(D)×600(H)mm
 ◆ 滚筒直径
    400mm X450mm
 ◆ 等离子发生器(美国MKS)
    频率13.56MHZ,功率0-600W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作
 ◆ 控制系统
    触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
 ◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)
    日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN901 (23L/S) x2台（可选配爱德华干泵）    
    台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管,德国英福康高精度真空计,传感器
 ◆ 充气系统
    美国MKS高精度电子质量流量计(两路气体配制)、针阀
    美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀
    日本SMC及CKD高真空气阀组件 

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