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根据传动链末端元件的运动性质正确、合理地选用、安装传感器是准确测量传动链运动精度的必要条件。根据工作原理,机床传动误差测量常用传感器可分为以下几类:
(1)光栅传感器
光栅传感器的最大优点是信号处理方式简单,使用方便,测量精度高(国外著名厂家如德国Heidenhain、西班牙Fagor等公司制造的光栅传感器精度可达1μm/m);缺点是光栅尺价格较昂贵,对工作环境要求较高,玻璃光栅尺的线胀系数与机床不一致,易造成测量误差。
(2)激光传感器
激光传感器(包括单频和双频激光)具有较高的测量精度,但测量成本也较高,对环境条件变化(如温度、气流、振动等)较敏感,在生产现场使用时必须采取措施保证测量的稳定性和可靠性。
(3)磁栅传感器
磁栅尺可分为线状(有效测量长度3m)和带状(有效测量长度可达30m)两种型式,其优点是制造成本较低,安装使用方便,线胀系数与机床相同;缺点是测量精度低于光栅尺,由于磁信号强度随使用时间而不断减弱,因此需要重新录磁,给使用带来不便。
(4)感应同步器
感应同步器的优点是制造成本低,安装使用方便,对工作环境条件要求不高;缺点是信号处理方式较复杂,测量精度受到测量方法的限制(传统测量方法的测量精度约为2~5μm)。
在计算机测试系统中,模拟式传感器的输出信号需利用模数转换器(A/D)进行数字化处理,而在高分辨率情况下A/D转换的成本较高,此外解决微小模拟信号(如微伏级)的抗干扰问题也相当困难。
在数字式传感器中,绝对式编码器可输出并行数字信号,无需A/D转换,易与计算机接口。但随着测量精度的提高,绝对式编码器的成本也越来越高,甚至高于高精度A/D转换的成本,因此在许多实际应用场合难以被接受。增量式传感器和信号调制式传感器的制造成本较低,抗干扰能力较强,可在不改变编码器刻线密度的情况下采用细分技术大幅度提高分辨率,因此在传动链精度测量中这两类传感器使用最多。常见的增量式传感器包括光栅增量编码器、磁栅传感器、容栅编码器等;信号调制式传感器主要有感应同步器、激光干涉仪、地震仪、旋转变压器等。