一、无尘洁净室它是悬浮粒子浓度受控，其建造和使用方式使得进入、产生、滞留于室内的粒子最少的房间。室内的其它参数包括：温度、温度、气压等，按需要受控。(医用洁净室、工业洁净室)

　　二、悬浮粒子是指：固体、液体、多相物质、微生物等。

　　三、洁净等级划分：十级、百级、千级、万级、十万级、三十万级等静态。联邦209E标准：每立方英尺空间内粒径为0.5um的粒子不超过多少个。

　　四、无尘洁净室术语相关：

　　① 稀释并清除室内人员和设备散发出的粒子和细菌

　　② 向室内增压，确保外部空气不会流入洁净室。

　　五、洁净室内的建筑材料不产生粒子且便于清洁。

　　六、洁净室人员必须穿着洁净服，使散发的粒子和微生物最少。

　　七、其它特性：可以控制温度、湿度、照明等。

　　1、悬浮粒子 airborne particles

　　用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.1μm～5μm的固体和液体粒子。

　　2、粒径miacropartical size

　　由给定的粒子尺寸测定仪回应当量于被测粒子等效的球体直径。对离散粒子计数、光散射仪器采用当量光学直径。

　　3、超微粒子 ultrafine particle

　　当量直径<0.1μm的粒子。

　　4、宏粒子 micro particle

　　当量直径>0.5μm的粒子。

　　5、粒径分布particle size distribution

　　粒子粒径频率分布和累积分布，是粒径的函数。

　　6、含尘浓度particle concentration

　　单位体积空气中悬浮粒子的颗数。

　　7、洁净度cleanliness

　　以单位体积空气中某粒子的数量来区分的洁净程度。

　　8、空气吹淋室 airshower

　　利用洁净气流吹落并清除进入洁净室人员或物料表面附着粒子的小室。

　　9、传递窗passbox

　　在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的窗口。两侧窗扇的开启应进行联锁控制。

　　10、高效空气过滤器HEPA(high efficiency particulate air filter)

　　在额定风量下，对粒径大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及气流初阻力在250Pa以下的空气过滤器。

　　11、风机过滤器机组(FFU)Fan Filter Unit

　　由高效空气过滤器(HEPA)或超高效空气过滤器(ULPA)与风机组合在一起，构成自身可提供动力的末端空气净化装置。