CMQ9200/9500/0002/0005/0020/0050
气体质量流量控制器

CMQ系列是高机能型数字式气体质量流量控制器，它使用了山武
公司研制的感热式微型流量传感单元和比例电磁阀的先进技术。
因此CMQ是一种高性能、低成本的产品。CMQ具有响应快、控制
范围宽的特点，能满足多种工业控制要求