---昆山一月清洁设备技术服务部

什么是无尘室？

无尘室(Clean Room)，亦称为洁净室或净化室。它是污染控制的基础，没有洁净室，污染敏感零件不可能批量生产。洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

洁净室最主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。

工厂车间无尘室专用吸尘器该如何选择，应该注意哪些要点？

在选择和选购无尘室吸尘器要考虑各种综合因素，并非所用的吸尘器都适合用于无尘室使用要求，具体的选择要素有以下几点：

第一，真空工业吸尘器要高效过滤功能，如HEPA或ULPA过滤器。其中HEPA高效过滤器能够有效过滤掉0.3微米的微尘粒子，过滤效果达到99.97%；而ULPA超高效过滤器则可以有效过滤掉0.12微米的微尘粒子，效果达到99.999%。

第二、HEPA高效过滤器要后置于马达，这样，吸尘器的马达运转产生的灰尘会被HEPA过滤掉，这样可以确保过滤效果可以适用到CLASS100的无尘室环境。一般HEPA(高效过滤器)是前置于马达的吸尘器，不能过滤马达运作产生的灰尘，因此不适合于无尘室环境中使用。

第三、吸尘器要具备强排风功能，只能有一个进风口和一个出风口，要保证吸入的灰尘100%的经过HEPA或ULPA过滤，一般家用和普通型的工业吸尘器没有具备强排风，通常灰尘吸入后，可能会从不同的出风口泄露，造成二次污染，灰尘被重新飞扬起来，影响无尘室环境中产品的良率。

第四、根据环境需要，选择是否具备干湿两用的工业吸尘器，一般来说，有液体的环境最好选择可干湿两用的无尘室吸尘器，没有液体的情况最好是选择干式的吸尘器。通常来说干式的无尘室吸尘器要比干湿两用型的吸尘除尘效果要好。

无尘室吸尘器的选购需要注意以下要点：由于无尘室吸尘器的运用越来越普及，尤其是随着社会科技的发展，一些特殊行业对无尘室环境的管理和要求越来越严格，例制药行业、电子行业、晶圆加工、半导体加工、电子工厂、实验室等等，许多行业的制造商都必须依国际标准化组织(ISO)制定的标准来确保无尘室的干净，如果达不到标准就有可能影响产品的良率和员工的健康。

传统的无尘室清洁方式主要有无尘拖把、粘尘滚筒或无尘擦拭布进行除尘洁净。以往的清洁方式缺陷很多，如效率不高、会造出二次污染、人力成本过高、耗材成本太高等等。

目前，常用的也是较为有效的清洁方式是，使用带有HEPA或ULPA过滤器的无尘室吸尘器，也称为洁净室吸尘器，净化室吸尘器，无尘室专用吸尘器，无尘车间用吸尘器，净化车间专用吸尘器，无尘袋吸尘器，百级吸尘器，千级吸尘器，万级吸尘器等

无尘室的等级要求及等级划分：

每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。0.5uM及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别，每个立方米内含的灰尘粒子越少表示无尘室等级越高。

无尘室等级从高到低可划分为：百级，千级，万级，十万级。