电气设备内的SF6气体及分解物与绝缘材料反应而生成某些有毒产物。
如与含有硅成分的环氧酚醛玻璃丝布板（棒、管）等绝缘件；或以石英砂、玻璃作填料的环氧树脂浇注件、模压件以及瓷瓶、硅橡胶、硅脂等起化学作用，生成SiF4、Si（CH3）2F2等产物。
   随着新技术的推广和新设备、新材料的应用，SF6设备以其安全可靠、维护方便和使用寿命长等优势，在电力系统中得到了广泛使用．并对电力系统的安全、经济、稳定运行起到了重要的作用。但是，使用的SF6设备由多个厂家生产，基本体结构和操作机构多种多样，不同厂家、不同型号、不同电压等级的SF6设备，使用的标准也有差别，制作工艺水平也参差不平，给安装、运行、检修人员对SF6设备的应用和维护带来困难、从而影响施工和检修质量．甚至渗漏气导致故障的发生．给电力系统的安全运行带来一定的影响。因此SF6设备中SF6气体的管理应引起重视。

   1 SF6气体的运行维护
   1.1 定期巡视检测。值班员每天应对SF6电气设备采用红外线双波检漏仪检进行检测，若发现泄漏可以检测出泄漏含量有没有超标并应立即报告，及时处理。
   1.2 巡视防爆膜。对装有防爆膜的GIS设备，每天定时巡视，但不得在防爆膜附近停留。发现异常情况要立即报告。若防爆膜破损，要停电进行处理。防爆膜应用汽油或丙酮擦拭干净。
   1.3 定期检校报警装置。每年要对压力整定值进行检验，检查触点及报警器是否完好，各导线连接有无松动等。
   2 SF6气体的水分测量处理
   2.1 含水量的测量。用含水仪测量SF6气体的含水量。一般每3个月测量1次，稳定后减为每年测量1次。发现含水量有明显变化时，应进行复测并分析其原因。断路器气室运行中的SF5气体含水量不得大于3*10-4。
   2.2 含水量超标时的处理。经测量SF6气体的含水量超过最大允许值时，可用SF6气体处理车对SF6气体进行干燥、过滤。对含水量较高的气室应抽真空，用干燥的氮气进行置换，并用吸附剂吸收水分。
   3  SF6气体的充补操作
   3.1 充气前应对钢瓶进行真空处理，去除油污水分。气瓶严禁过量充装，认真实行重量复核。对液态SF6，当充装压力为7.8 MPa时，充装系数不得超过1.2 kg/L。
   3.2 运行中的ＧＩＳ设备补气采用小型补气装置。操作步骤如下：从SF6气体处理车的进出口分别接出2根高压软管，进口侧软管的另一端与气瓶接口相连接，出口侧软管的另一端与GIS气室充气口相连。接牢后，打开气瓶角阀，SF6气体从气瓶经高压软管到达进口阀，通过减压阀、蒸发器、加热器、过滤阀、逆止阀到出口阀，再通过高压软管进入GIS气室。
   3.3 补气压力应根据出口的环境温度、压力换算到额定值，补气量为补气前后气瓶的重量之差。补气12h后要测量SF6气体的含水量。
   3.4 在室内充补SF6气体时，必须开启通风系统，工作区域空气中sf6气体含量应在1/1000以下。
   4气瓶的管理
   4.1 检查气瓶外表有无缺陷，安全附件是否齐全。如果怀疑，要进行探伤检查。每次充气后要有IAC510红外线检漏仪检查阀体及气瓶本体的接合处有无漏气现象。
   4.2 新气瓶要进行抽样（30%以上）检查。充入的SF6气体应有制造厂的分析报告、生物试验证书，气瓶外应挂有气体检验合格证。
   4.3 气瓶不允许靠近热源、油污等，也不能曝晒、受潮，应立放在架子上，标志向外。
   4.4 气瓶运输时，可以卧放，但应防止巨烈震动。气瓶装卸要轻抬轻放，严禁气瓶互相碰撞。卸瓶时不得溜放，更不允许抛卸。