应变计的结构与分类
电阻应变式传感器中用的应变计有哪几种,有哪些分类,此篇文章将介绍这些。
u 应变计:将应变转换为电阻变化的传感元件
u 结构:电阻应变片种类繁多,但基本构造大体相同
图示为其构造简图:排列成网状的高阻金属丝、栅状金属箔或半导体片构成的敏感栅, 用粘合剂贴在绝缘的基片上。敏感栅上贴有盖片(即保护片)。
u 应变计的分类
u 按尺寸分:
u 按结构形式分:单片、双片及各种特殊形状的图案
u 按使用环境分:高低温、核辐射、高雅、磁场的等
u 按安装形式分:粘贴、非粘贴、焊接、火焰喷涂
u 按材料分:金属式、半导体式
对金属:
u 金属丝式应变片:
u 金属箔式应变片:
u 薄膜应变片:
对半导体:
u 体型应变片:
u 扩散型应变片:
u 薄膜型应变片:
u 外延型应变片:
u PN结及其它
金属丝式应变片:有U型、V型、H型
a金属丝弯曲部分成圆弧(U)形,是最早常用的一种形式,制作简单但横向效应较大
金属丝弯曲部分成圆弧(U)形,是最早常用的一种形式,制作简单但横向效应较大 金属箔式应变片:
箔式应变计的线栅是通过光刻、腐蚀等工艺制成很薄的金属薄栅(厚度一般在0.003~0.01mm)
薄膜应变片:
薄膜式应变计是采用真空溅射或真空沉积技术,在薄的绝缘基片上蒸镀金属电阻薄膜(厚度在纳米量级),再加上保护层制成
优点:灵敏度高;允许通过的电流密度大;工作温度范围广(可工作于-197~317℃),也可用于核辐射等特殊情况下。
敏感元件常用的材料:康铜(铜镍合金)、镍铬合金、铁铬铝合金、铁镍铬合金等,常温下使用的应变计多由康铜制成。
应变计的结构与分类
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金属丝弯曲部分成直角(H)形,两端用较粗的镀银铜线焊接,横向效应较小,制作工艺复杂(将逐渐被横向效应小、性能更优越的箔式应变计所代替)