INFICON真空计如何选择

一，皮拉尼真空计

1.  皮拉尼真空计原理

加热电阻丝，使之升温至需要的工作温度由于气体粒子与电阻丝碰撞离开时带走了能量，电阻丝的温度会发生变化,热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系

2.  衍生出两种类型的皮拉尼规

1，稳定温度，测量施加的电压变化等效测量真空度（INFICON PSG500）

2，稳定电压，测量温度变化等效测量真空度（热偶规）

3.  气体的热传导，与下列提条件有关:

1，气体类型

2，压力大小

4.  皮拉尼真空计测量范围与精度

测量范围（空气,氧气,一氧化碳,氮气）：5 x 10-4至 1000 mbar 

精度(氮气): 1x 10-3… 100毫巴  ± 15%

    5 x 10-4… 1 x 10-3毫巴  ± 50% gbg

    100 ... 1000毫巴  ± 50%

5.  皮拉尼真空计的优特点

灯丝部分在不影响精度与速度的情况下，加以最大的保护，大大延长了灯丝的使用寿命

6.  皮拉尼真空计具体型号

PSG050/051

PSG100-S  PSG101-S

PSG500/PSG500-S  PSG502

    皮拉尼电容膜片复合真空计PCG400 PCG410 PCG550

1.  有皮拉尼规与特制的陶瓷薄膜规合成在一起

2.  两种原理的规管全过程都工作

3.  100 mbar--1000 mbar 使用薄膜

4.  1 mbar--100mbar 两规信号同时采用

5.  5x10-4mbar--1 mbar 采用皮拉尼信号

6.  输出的真空度信号（电压）连续，无跳跃

7.  皮拉尼真空计应用行业

各种高真空泵的前级压力测量，如光伏，镀膜，等离子行业

 各种中低真空测量，如照明，冶金

真空连锁控制，高真空计的点火开关控制，如PEG100

PSG050可完全替代TR211，PSG051可完全替代TR216

PCG400 PCG410(现在已升级为PCG550，PCG400/PCG410已经停产)与PSG500 基本相同，但弥补了皮拉 尼规大气测量段精度不足的弱点，而且不受气体类型的影响，在真空炉，单晶炉，多晶炉，蓝宝石炉上广泛应用

PSG100 PSG101，与PSG500/P SG050 基本相同，但因为具有通讯协议功能，在大系统中应用广泛

二，电容薄膜规CDG025D/CDG045D/100/160/200 

1.  电容薄膜规工作原理

 压力使膜片变形，变形量与压力大小成比例关系

    通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度

2.  电容薄膜规特点

以可靠的超纯陶瓷传感器室为基础构成

在严酷和腐蚀性环境中,稳定与可靠的高精度压强测量

快速的预热和恢复时间,提高生产率

卓越的长期稳定性,再现性和重复性 

由于电子学直接安装在传感器上,改进了温度补偿和EMC兼容性 

对环境条件变化的敏感度的降低使得测量更稳定

快速预热在开机的一分钟内达到快速稳定和进入 准备使用状态

一键按钮: 调零功能和设点调整 

抗腐蚀超纯陶瓷传感器 

 能经受数百万次压强循环周期,包括大气压 冲击,无任何降低性能的迹象

暴露大气压后快速恢复,无需隔离阀 

对蒸气介质不敏感

先进的传感器屏蔽 (专利)延长真空计在污染的工艺过程中的使用寿命

3.  INFICON陶瓷技术

陶瓷技术的优越性

1，   无 “记忆” 效应

2，   陶瓷无疲劳问题

3，   最好的温度补偿

4，   卓越的零点稳定性 

低使用成本

1，  非凡的使用寿命

2，  无需隔离阀 

4.  Sky CDG025D测量范围 大气到100mtorr

5.  加热型薄膜规 CDG045D，CDG100D，CDG160D，CDG200D

6.  加热型优点

零飘极小0.1%FS/年（干净真空环境）

更高的精度

环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响

比工艺更快的预热启动时间’ 

快速恢复时间 大气压 < 1 min within 5mV

任意安装角度

抗污染，可有效抵抗工艺气体或工艺产生气体的腐蚀影响

7.  电容薄膜规的应用

要求高的应用条件下，精确而快速的压强测量

用于刻蚀，CVD,PVD,ALD半导体设备制造，如太阳能光伏行业的PECVD用的很多，刻蚀上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比较多，抗污染性能比较好。一般国内用的PECVD还有多晶炉上用的MKS的电容薄膜规622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比较多，如德国Ruth&Rau公司的PECVD设备标配产品为MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,质量流量计用的是1179BX2 3CR14VSPC1 800sccm/SiH4和1179BX5CR14NSPC1   2000sccm/NH3，国内用的好多PECVD设备上用的是INFICON的CDG025D。

资料贮存和显示器制造设备

工业真空设备

常用高精度真空测量

三，热电离规

1.  热电离规原理

Richardson 效应: 高温灯丝发射电子，高能量电子撞击气体分子，气体分子的一个或多个电子被撞击出去，形成带正电的离子

1）带电离子被离子收集极捕捉收集放大输出

2）离子流的大小与气体压力成比例关系

3.  热电离型复合规

HPG400

BPG400/-SP/-SD/SR

BPG402

 BCG450  B-A规，皮拉尼规，薄膜规三种型号复合在一起

4.  优点及应用

 BPG

„  测量范围宽，一个规管覆盖13个量程5x10-10–1000 mbar

„  精度高，极好的重复性5%

„  灯丝材料镀钇的铱丝有极好的抗氧化能力，皮拉尼自锁保护，使灯丝并不会因突然暴露大气而烧毁。

„  方便的校准调节

„  注意事项：

‹  1、对气体有选择性

‹  2、抗污染能力弱

„  普遍应用于从低到超高真空的测量

„  在工业，半导体，研究行业应用广泛

BPG402 

„  双灯丝，大大延长使用寿命

„  电离规的工作可以自定义控制

„  探头备件自带校准参数，保证精度与重复性

HPG400

„  电离规与皮拉尼的复合

„  皮拉尼自锁保护电离规

„  电离规的工作启动点可以一定范围内自定义

„  简易的校准功能

„  相对便宜的价格

 BCG450

„  可调的电离规工作起点

„  极佳的重复性

„  精确的大气端测量

四，冷电离规（潘宁规）

1.  冷电离规原理

通过气体放电方式产生电子，通过磁场使电子获得能量将气体分子电离

2.  潘宁规特点与应用

测量范围：5 x 10-9 to 1 x 10-2 mbar

 全金属密封

无灯丝

易清洗

应用于普通的高真空测量

3.  冷规复合规MPG400特点与应用

冷规与皮拉尼规的复合

测量范围广： 5x10-9-1000 mbar

易于保养清洗

无高真空灯丝，

应用于普通高真空测量