三坐标测量机是典型的机电一体化设备。一般由机械系统和电子系统两个大部分组成。

三坐标测量机械系统：一般由三个正交的直线运动轴构成。三坐标测量机三个轴上均装有光栅尺用以度量各轴的位移。
电子系统：电气系统、软件系统及探测系统所组成。电气系统包括电控柜及计算机；三坐标测量机测量软件形式很多，如通用软件、统计分析软件等，由于误差补偿技术的发展以及算法和控制软件的改进，测量机精度在很大精度上依赖于软件，测量机精度的提高可通过使用固定补偿模型或自适应补偿模型，或将两者结合起来完成。固定补偿模型的精度取决于坐标测量机的测量重复性、补偿模型的完善程度以及校准方法的精度。自适应补偿模型用于校正坐标测量机随机发生的几何构成上的变化，目前大多数测量机还没有采用温度变化条件下的自适应补偿技术；探测系统是由测头及其附件组成的系统，测头是坐标测量机的关键部件，测头精度的高低很大程度决定了测量机的测量重复性及精度。与其它技术指标相比，提高测头的性能难度最大。由LEITZ公司开发的实用高精度测头---三维电感测头取得专利以来，至今改进不大。而英国RENI SHAW公司近年来不断推出新产品，向世界三坐标测量机制造商提供约80%以上的测头。CMM可以配置不同的测头传感器。主要有接触类与非接触类两种,接触式测量方法主要采用触发式或扫描式接触探头，测量精度高。而非接触测量方法主要有激光三角法、投影光栅法、自动断层扫描、工业CT和核磁共振(MRI)等。当硬件各部分一定时测量软件的质量将直接决定测量结果的精确度。
三坐标测量机 系统组成介绍