1、数孔直径，又叫镜口率，数值孔径是物镜和聚光镜的主要技术参数，是判断两者性能高低的重要参数。数值孔径决定了物镜的分辨率。与物镜的放大倍数，工作距离，景深有直接关系。

　　2、焦深，也叫景深，是指使用 金相显微镜 观察和拍摄样品表面时，从对准焦点的位置开始，改变物镜与样品表面的距离时，对焦能够保持清晰的范围。

　　3、齐焦距离。齐焦距离是指对准焦点时的物镜镜体定位面到物体表面的距离。

　　4、工作距离。也叫物距，指物镜前透镜的表面到被检物体之间的距离。

　　5、分辨率是指在物体表面能够分解的最小间隔。