露点(Td)是指露水或冷凝水在冷却气体上形成时的温度。露点温度用于描述气体(例如空气)中非常微小的水分含量。半导体在微机械加工过程中,由于水分子被认为是污染物,因此其加工环境极其干燥。在这种情况下,相对湿度几乎保持在0%RH,但是露点温度对于被测气体的水分含量变化而言仍然非常敏感。
湿度和露点传感器技术
用于测量空气中水分含量的湿度传感器大致可分为两种类型。一种用于测量湿度,另一种则用于测量露点。在湿度水平高于10%RH的空气中通常需要进行湿度测定,在低湿度的环境下,则倾向于测量露点。在某些高湿条件下,采用露点测量会更方便。
湿度和露点传感器包括:
1. 干湿球湿度计
2. 机械湿度计
3. 氯化锂露点仪
4. 电阻型湿度计
5. 电容型湿度计(结露仪)
6. 镜面露点仪
测量湿度和露点仪器设备包括:
1.湿度记录仪
2. 温湿度记录仪
3.露点仪
4.露点记录仪
5.温湿度露点记录仪