首先是0.005m/m自准直仪，用米字型或风格型布点，检定点及平面度误差值极限检定误差均不超过1.75um要求，可以用来检定0级平板平面度。

  第二0.005mm/m电子水平仪，用米字型布点，检定点及平面度误差值极限检定误差不超过1.75um要求，用网格型布点，检定点极限检定误差超出1.75um要求，但这种布点方式按最小条件原则评定平面度误差值极限检定误差未超过1.75um，可以用来检验平板平面度。

  相信会使用试验平台达到0级的几个检测设备，我们的工作效率也会提高很多。