无尘室生产设备之防尘措施：
 
a.磨损、切削均为发生微尘之原因，故需将发尘部分掩盖之。
 
b.不得有太大或不必要的操作动作，以免卷起附近之灰尘。
 
c.易产生尘埃之设备，若能的话应布置于风尾地点。
 
d.在操作时，尽量减少接触零件或产品。
 
e.各项厂务设施之供应如水、气体和化学品于进入生产设备前应有过滤设备。
 
f.为不使气体或液体滞留，造成微污染，故管路配置应有旁路阀之设置。
 
自动化与无尘化：
 
1、设立自动化传送系统，可减少人员方面所带来的污染，唯费用相当昂贵，须详加评估

。
 
2、建立管制项目如进入无尘室人员的资格限定，无尘室作业人员作业规则，无尘室管理

规则等。