一 洁净棚介绍 洁净棚也称为无尘工作站，它是为最疾速方便树立的一座简易洁净室，其

具备多种洁净等级及空间搭配能够根据应用需求设计制造，因而其简便应用弹性大装置容

易且施工期短以及迁徙性佳为其主要特点，同时在运用上其亦可针对在个别等级的洁净室

中局部地域需要高洁净度的处所做部分增设以降低成本。

    洁净室目前已是半导体产业跟生物化学、医药、食物界等不可缺之主要设施，也日益

精细，相对洁净室的等级请求也越来越高，而洁净室的建造本钱也水涨船高，为下降洁净

室的结形成本金田净化设备乃供给新的洁净室设计观点，迷你洁净单元采用模块化之整合

设计概念，此架构相似SMIF型式，有各种独破的洁净区，唯差别在于其传递方法非以衔接

臂进行而是以职员在密闭的洁净室外进行操作，有独立的空协调回风体系，此型式长处在

于弹性隔间轻易、建造成本低，使人与设备、产品有效隔离，如斯做法可使人为的烦扰及

传染降至最低水平，并直接可晋升产品良率。

    洁净棚是一种投资少而净化级别高，挪动比拟便利的简易净化妆置。将洁净层流罩FFU

放置在由专业净化铝型材组装而成的框架上。顶部由盲板铺盖，密缝周密，四处用防静电

帘/防静电有机玻璃围缝使棚区内洁净度到达100-10000级。

二 洁净棚重要特色：

1、模块化、组装式构造设计，施工简便可大大缩短现场施工时光；
2、成本低，移动方便。