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洁净度:ISO5 (百级) ISO6(千级) ISO7(万级) ISO8(10万级) 温度:干球温度
和湿球温度 湿度:相对湿度/绝对湿度 正压:不同洁净度之间压差5Pa,洁净室对外压差5
-10Pa 负压: 空态:生产设备也没有 静态:设备有,但没有生产 动态:生产过程中,进
行测试。
国际标准化组织(ISO)的14644-1标准对洁净室是这样说明的:该洁净室的悬浮粒子
浓度受控,其建造和使用方式是使进入、产生、滞留于室内的粒子最少;室内其他参数,
比如温度、湿度、气压、按需要受控。该定义的前半部分基本上说明什么是洁净,这是一
个使粒子的进入、产生、滞留最少化的房间。要实现这一点,首先,要对极大量的送风经
高效过滤器过滤。这种送风的目的在于:
(1)稀释并清除室内人员和设备散发出的粒子和细菌;
(2)向房间加压,确保脏空气不会流入洁净室。
其次,洁净室的建筑材料不产生粒子且便于清洁。
最后,洁净室人员使用服装罩住身体,使他们散发的粒子和微生物最少。这些措施及
其他使用洁净室引入、产生、滞留的污染降至最少的类拟措施。洁净室还可以控制温度、
湿度、声音、照明、振动。但这些特性并非洁净室所专有。 洁净室的应用形式有多种多样
,表中列出当前在洁净室中产生的一些产品。
工业
产品 电子 计算机、电视现象管、平面荧光屏 半导体 计算机用存储和控制集成电路
的产生。
微机械
陀螺仪、微型轴承、袖珍光碟播放机。
光学
镜头、胶卷、激光设备
生物技术
抗生素生产、遗传工程
药品
灭菌药品、灭菌处理 医疗设施 心脏瓣膜、心脏旁路系统-;
食品与饮料
酿酒,非灭菌食品与饮料