质谱是不同质量的粒子在电磁场中运动后，测振仪按照质量大小将它们一次分开排列的技术。利用质谱原理制造的仪器叫质谱仪或质谱计。专为检漏用的质谱仪叫质谱检漏仪。由于多数示漏气体选择用氨气，所以允许把分辨率调试得较低而灵敏度调得很高。氦质谱检漏仪是目前国家工人、测振仪用得最广，灵敏度很高的一种检漏仪器，其中用得最多的是90°和180°磁偏转质谱仪；近些年来，四极质谱计在检漏中也得到了较多的应用。20世纪60年代，我国氦质谱检漏仪性能已达到国际先进水平。在以后的四十多年中，使用检漏技术的应用水平有了长足发展，测振仪仪器的自动化、小型化、可靠性等也有了很大的提高，不仅满足了国内需要，而且还销往国外。氦质谱检漏仪除灵敏度高外，还具有适应范围广，定位定量准确、无毒、安全、反应速度快等特点