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可测试12" 8" 6" 晶圆或者LCD基片
除了针对标准的2"~12" (50mm~300mm) 基片表面电阻率的测试,我们欢迎客户定制,定制之前请按照以下步骤先确定规格:
对于尺寸大于300mmx300mm的基片
1. 基片具体是哪一种材质?
2. 基片尺寸有多大?
3. 探针台选用下面哪一种移动方式?
a.) 基片固定,测试头可以水平移动和上下移动。
基片越大,越节省空间。
b.) 基片可以水平移动,测试头只能上下移动。
4. 采用哪一种驱动方式? 手动测试,半自动化,或者选用自动化。
5. 测试时是否需要在特定温度?
对于需要高温环境的基片测试
基片加热台通过PID控制,可以设定测试温度。加热台通过右边的真空鼠形垫控制做环形移动。在某个位置时,打开真空按钮,真空垫会被吸附在平板上,加热台同时被锁定位置,这时,4针探头可以下压测试。测试完毕,测试头升起,样品台移动到下一个测试位置。
1. 最高测试温度需要多高? 150,300,400,500摄氏度?
2. 测试头选择手动下压还是气动下压?
3. 是否需要保护盒?
4. 是否需要水冷箱?