用于晶圆工艺
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仪表展览网>产品库>MKS电源
价格: 面议
公司名称:深圳市普威科新能源装备有限公司
地:广东深圳
发布时间:2017-04-10
深圳市普威科新能源装备有限公司
产品简介
ASTeX 远程等离子体电源适用于氧气,氮气,氢气,水汽等气体,广泛应用于CVD,ETCH,去胶等晶圆工艺。
产品详情

产品有以下型号:

R*evolution -AX7690 集成远程等离子体源用于精元工艺。


微波等离子体源:


  • AX2600 集成等离子体系统
  • Smart Power-AX2500系列微波电源
  • ASTeX-AX3060 SmartMatch微波匹配器
  • ASTeX-AX7619 下游等离子体源


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