测量范围

(X-轴)

400～800mm(可选)

(Y-轴)

400～650mm(可选)

(Z-轴)

200/400mm

最大允许测量误差¹⁾

(E1单轴精度）

(0.25+L(mm)/900)µm

(E2平面精度）

(0.70+L(mm)/600)µm

(E3空间精度）

(1.50+L(mm)/500)µm

最大允许测量误差²⁾

(E1单轴精度）

(0.25+L(mm)/500)µm

(E2平面精度）

(0.70+L(mm)/400)µm

(E3空间精度）

(1.50+L(mm)/300)µm

分辨率

0.01µm

工作台承重

150kg(300kg可选)

定位速度

60mm/s

加速度

250mm/s²

频率

48-62Hz

气压

48-62Hz

功耗

7-10 bar

仪器重量

1000-6000kg

精度保证环境条件¹⁾

20℃±0.5^o Δ=0.25 ^o/h

精度保证环境条件²⁾

20℃±1 ^o Δ=1^o/h

精度检定光学放大倍率

10X

湿度

40-70rel.

空气指标

max.0.05mg/m³

适用温度

10-35℃