高精密测角仪 PM MOT

型号	PrismMaster C-200	PrismMaster	PrismMaster HR	PrismMaster MOT	PrismMaster HR MOT
工作台精度	轴向、径向精度优于2um	超高精密气浮轴承，轴向、径向精度优于0.05um
编码器分辨率	0.36um	0.36um	0.036um	0.36um	0.036um
编码器精度	0.5um	0.5um	0.2um	0.5um	0.2um
工作方式	手动旋转	手动旋转	手动旋转	自动旋转定位	自动旋转定位
测量精度单次精度多次精度	1.5秒 0.6秒	0.75秒 0.5秒	0.5秒 0.2秒	0.75秒 0.5秒	0.5秒 0.2秒
光电自准直管	EFL=300mm 分辨率：0.01秒重复性：±0.1秒	EFL=500mm D=57mm 分辨率：0.01秒重复性：±0.1秒
测量模式	绝对测量。反射法测量棱镜任意相邻两个面的夹角，测量范围0-360°
可扩展测量功能	透射测量方法，塔差