筛选
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型号 | PrismMaster C-200 | PrismMaster | PrismMaster HR | PrismMaster MOT | PrismMaster HR MOT |
工作台精度 | 轴向、径向精度 优于2um | 超高精密气浮轴承,轴向、径向精度优于0.05um | |||
编码器分辨率 | 0.36um | 0.36um | 0.036um | 0.36um | 0.036um |
编码器精度 | 0.5um | 0.5um | 0.2um | 0.5um | 0.2um |
工作方式 | 手动旋转 | 手动旋转 | 手动旋转 | 自动旋转定位 | 自动旋转定位 |
测量精度 单次精度 多次精度 | 1.5秒 0.6秒 | 0.75秒 0.5秒 | 0.5秒 0.2秒 | 0.75秒 0.5秒 | 0.5秒 0.2秒 |
光电自准直管 | EFL=300mm 分辨率:0.01秒 重复性:±0.1秒 | EFL=500mm D=57mm 分辨率:0.01秒 重复性:±0.1秒 | |||
测量模式 | 绝对测量。反射法测量棱镜任意相邻两个面的夹角,测量范围0-360° | ||||
可扩展测量功能 | 透射测量方法,塔差 |