原子力显微镜 AFM

原子力显微镜

原子力显微镜用于半导体行业的测量

X,Y测量范围： 20umX20um; 40umX40um; 80umX80um

Z测量范围： 2um 4um 6um

X,Y分辨率： 0.1nm

Z分辨率： 0.01nm

原子力显微镜 (AFM)通过一个微小尺寸

悬臂上的精密尖头对样品进行表面扫描

尖头和样品表面原子间的相互作用力会使

悬臂位置发生轻微偏离，接着被压阻

元件探测到该变化，从而被测量，基于

这个影响， AFM 可以高分辨率地测量

表面形貌及粗糙度，属于无损测量

AFM 可以使用不同的操作模式，因此可

以用来研究更多的性能, 比如样品的静电

力、磁力或者弹力。

特色：

测量性能

高分辨率表面形貌测量

尖头自动靠近被测样品表面

样品表面取样通过压阻感应元件

接触测量模式、非接触测量模式

静电力和磁力特性的测量

measurement of electrical and magnetic properties,

侧力及弹力测量 lateral forces and elasticity^*1

液态测量measurement in liquids^*2

更多操作模式可选

*1 contact mode in basic version, additional modes upon request

*2 optional

Atomic Force Microscopy

Surface Characterization表面特性

Very High Resolutions极高分辨率

典型应用：

微型工业技术的质量保证

纳米亚纳米级粗糙度测量

硅片及光学器件表面测量 range

生物标本表面特征

纳米结构测量

医学样品表面特征研究medical samples,

e.g. protheses, catheters or stents

应用于材料科学中检测橡皮圈, 磁性工件等

AFM measuring head 测量头

control unit 控制器件；传感器安装在电动台

sensor mount with motor-driven z-stage

software, operating manual 测量软件操作手册