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测量传感器技术参数:
测量原理 共焦测量(非接触式) | |
测量物镜 | 10X 20X 50X 100X |
Z轴测量范围 | 400um |
工作距离 | 1mm |
Z轴分辨率 | 10nm 3nm 2nm 1nm |
侧向分辨率 | 1.98um 1um 0.396um 0.198um |
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FRT三维轮廓测量仪
设备包括:
● 共焦测量传感器confocal Microscope
● 花岗岩测量工作台100mmX100mm
● 计算机控制和电器柜
● MARKIII测量分析软件包
● 数据输出装置