立式球面激光干涉仪 VT750
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价格: 面议
产品型号:VT750 / VT1000 / VT1200
公司名称:北京德华振峡科技有限公司
地:上海嘉定
发布时间:2022-06-30
北京德华振峡科技有限公司
产品简介
立式球面激光干涉仪VT750 / VT1000 / VT1200是德国XONOX公司生产的4或6英寸球面激光干涉仪,采用立式测量结构,更适合于车间现场测量使用。
产品详情

XONOX VT系列立式球面激光干涉仪特点:

---高精密气浮隔震系统,适合于光学加工车间现场检测
---采用气浮垂直移动导轨,移动快速准确,最大移动范围1200mm,直线度可达3um
---可选装经济型的4寸干涉仪主机,配置静态光圈测量分析软件,代替传统的样本检测,方便快捷,DIN或ISO测量结果显示。
---配置ZYGO Verifire XPZ 4寸或6寸干涉仪主机,ZYGO专业测量分析软件,适合更高端用户使用。
---配置线性光栅尺,曲率半径测量精度+/-3um;小曲率半径测量装置可选,测量精度+/-1um(+/-60mm测量范围)
---配置XONOX 4+测量物镜,最大测量口径为130mm,曲率半径测量范围可达1150mm
---连接上电源与压缩空气就可以使用,无需额外配置


详细技术参数:
 

工作范围
750mm / 1000mm / 1200mm垂直移动范围,测量口径130mm或150mm
激光测量单元
XONOX Z100 4”菲索干涉仪或ZYGO VeriFire XPZ干涉仪主机,6倍光学变焦
测量系统
绝对测量,数字显示;小半径特殊测量装置(选项)
曲率半径测量精度
+/-1um(根据所使用的测量系统)
外形尺寸
800X900X1900mm
重量
450Kg
电压
110V-220V, 50-60Hz;16A
气压
6 bar

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