IC6 薄膜沉积控制器——不变的是超卓的表现

功能丰富的 IC6 提供上佳测量精度

IC6 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上，增添了更多独特的功能，可帮助您实现沉积过程的有利价值。IC6 使用我们的 ModeLock 频率测量系统，提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量，速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 Å/s，是行业中的佼佼者。IC6 具有其他石英晶体控制器无法比拟的性能、品质和功能，赋予您的过程超卓的可重复性。

功能

• INFICON ModeLock 技术确保获得极高、极稳定的速率和厚度测量分辨率，即使在速率极低的情况下
• Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值，可提高厚度测量的精度
• 支持不少六个来源同时共镀膜
• 彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
• 100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz
• USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录
• 强大的 I/O 凭借其灵活性可融入简单或复杂的系统（使用可扩展输入 (28) 和输出 (24 继电器，14 TTL 输出)，并充分利用逻辑功能（100 个逻辑语句）
• 6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控
• 可容纳不少 50 个过程，每个过程 200 层，这些过程关联到一起，总共可容纳 10,000 层。
• 多路传感器可平均分配为 8 个传感器
• 4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆
• 可选以太网通信
• 符合 RoHS 标准

典型应用

• 优异光学镀膜