SKY® CDG025D 0.1 ... 1000 托 / 毫巴过程压力真空计

SKY® CDG025D-X3 0.1 ... 1000 托 / 毫巴过程压力真空计

SKY® CDG025D-X3 4-20mA current loop 0.1 ... 1000 托 / 毫巴过程压力真空计

INFICON SKY CDG025D 电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空计，在苛刻的生产环境中具有稳定的性能。先进的数字电子设备提高真空计的性能和易于使用的特点，如一键调零功能和设定点调整。抗腐蚀性的超纯陶瓷传感器具有超卓的零点稳定性和预计数百万次压强周期（包括大气冲击）的长使用寿命。独特的传感器屏蔽（砖利申请中）保护真空计免受过程污染。坚固耐用的机械设计和数字电子设备改善了 EMC 兼容性、长期稳定性和温度补偿。CDG025D 为电源接通后的快速稳定与暴露大气压后的快速恢复等特性设定了新标准。

优点

全刻度范围从100毫乇…1000乇
电源接通后的快速稳定性
暴露大气压后的快速恢复性
抗腐蚀性陶瓷传感监测器
超卓的长期讯号稳定性
温度补偿
保护传感器防止污染
一键调零功能
宽范围电源
2个设点（选项）
RS232接口（选项）

用途

要求高的应用条件下，精准而快速的压强测量
用于刻蚀，CVD, PVD, ALD半导体制造设备
资料贮存和显示器制造设备
工业真空设备
常用高精度真空测量