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新一代数字化控制,五轴定位的磁悬浮分子泵
MAG 1500C/CT,MAG2000C/CT,MAG2200C/CT,MAG 2800C/CT,MAG 3200C/CT
抽速:1500l/s~3200l/s
●五轴定位双端磁悬浮轴承系统,自平衡性能好全无油,耐粉尘、抗气流冲击。
●转子采用高强度铝合金,一次高速铣削成形,应力小,强度高,耐冲击,高温变形量小,转子叶片不易卷曲、打碎;转子长期运行温度可高达120℃。
●转子及定片均采用莱宝砖利技术的 KAPLAR 涂层
●较镀镍的转子具有更强的防腐蚀性能,适用于抽除腐蚀性强的工艺气体;
●降低气流与转子叶片摩擦产生的热量,降低转子运行温度,有利于延长转子寿命;
●叶片镀 KAPLAR 的转子较镀镍的转子重量更轻。
●保护轴承为陶瓷轴承,寿命长(>600次),无需更换保护轴承。
●高真空端连接采用ISO-F,连接螺栓强度高,充分保障安 全。
●智能化电源,无需UPS。
●带拖动级,前级耐压在2mbar以上。
●分子泵运行温度可调节,使其充分适应不同工艺制程。
●超先进的数字控制技术
●运行速度、温度可设置;
●运行数据记录存储,提供多达180条运行信息;
●磁悬浮轴承及泵运行温度采用数字化控制,信号处理速度快,系统反应时间短
●转子受气流冲击或杂物不均匀沉积在叶片而使转子动平衡变化时,磁场补偿反应时间短;
●在气流长时间(2分钟以上)过大,而使泵负载过高,发热量过大时,泵速会快速自动调节,使泵温下降到正常水平。
●控制器与泵无识别性,可互换。
●免维护。
典型应用:
适用于
●所有半导体主要制程:刻蚀、化学气相沉淀及离子注入
●科研领域
●镀膜
另外,莱宝公司磁悬浮分子泵系统中还包括单轴定位的 TURBOVAC340M,MAG400和MAG1000。
TURBOVAC (T) 350-450 i采用革新的模块化设计理念,可以根据对压强和气载量的要求来优化产品性能,极大限度地满足客户的需求。
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