产品名称

GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪

产品型号

GSL-1100X-SPC-16M

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：设备需选配自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀）

4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上

5、通风装置：不需要

主要特点

1、设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态。

2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体，以获得极 佳镀膜效果。

3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。

4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。

5、根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。

6、溅射头采用Peltier制冷技术，可得到高性能、精细颗粒的涂层。

7、可用水冷溅射头、水冷载物台。

技术参数

1、靶：Ø50mm

2、真空室：Ø160mm×120mm

3、真空度：≤4×10^-2mbar

4、max电流：50mA（可选100mA）

5、可设定极限时间：9999s

6、微型真空气阀：连接Ø3mm软管

7、极限电压：1600V  DC

8、机械泵：2L/s

产品规格

尺寸：360mm×300mm×380mm

标准配件

1

金靶材

1个

2

进气针阀

1个

3

保险丝

2个

可选配件

金、铟、银、铂等各种靶材