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品牌概述 |
HHV Ltd 成立于1960年,隶属于印度班加罗尔HHV Pvt., 是一家历史*悠久的薄膜和真空技术公司. 该公司拥有众多研究所,大学院校及工业生产客户。近年来,HHV Pvt成为Edwards的制造商,生产如Auto306, Auto500 和TF600 等现代薄膜沉积系统。. |
应用领域 |
Auto500GB真空镀膜系统 用于DC和RF溅射 Auto500GB多工艺应用 Auto500GB 可适应多种应用. FL500大型腔室可容纳EB3电子束蒸发源,溅射源和热阻蒸发源,使用户在不破坏真空的环境下运用不同的技术进行多次膜沉积. 系统还可提供辉光放电清洗和基板加热以及膜厚监测和控制. |
产品特点 |
HHV Auto500GB沉积系统集成于手套箱内
Auto500GB设计集成于手套箱内. 系统安装了特殊的腔体,前置开门可在手套箱内取放产品,后置铰链门用于设备维修. |
技术参数 |
真空系统 **控制
触屏式PLC 真空系统控制 |