四探针薄膜电阻率测试仪

四探针薄膜电阻率测试仪

FT-330系列普通四探针方阻电阻率测试仪

按照硅片电阻率测量的国际标准（ASTM F84）及国家标准设计制造该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》并参考美国 A.S.T.M 标准，本机配置232电脑接口及USB两种接口，

四探针薄膜电阻率测试仪

本机采用范德堡测量原理能改善样品因几何尺寸、边界效应、探针不等距和机械游移等外部因素对测量结果的影响及误差，比市场上其他普通的四探针测试方法更加完善和进步,特别是方块电阻值较小的产品测量，更加准确.

四探针薄膜电阻率测试仪

.型号及参数

规格型	FT-331	FT-332	FT-333	FT-334	FT-335	FT-336
1.方块电阻范围	10-5～2×105Ω/□	10-4～2×105Ω/□	10-3～2×105Ω/□	10-3～2×104Ω/□	10-2～2×105Ω/□	10-2～2×104Ω/□
2.电阻率范围	10-6～2×106Ω-cm	10-5～2×106Ω-cm	10-4～2×106Ω-cm	10-4～2×105Ω-cm	10-3～2×106Ω-cm	10-3～2×105Ω-cm
测试电流范围	0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	10μA，100µA，1mA，10mA， 100mA	0.1μA，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA
4.电流精度	±0.1%	±0.2%	±0.2%	±0.3%	±0.3%	±0.3%
5.电阻精度	≤0.3%	≤0.3%	≤0.3%	≤0.5%	≤0.5%	≤0.5%
6.显示读数	液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度、电导率
7.测试方式	普通单电测量
8.工作电源	输入: AC 220V±10%.50Hz 功耗：<30W
9.误差	≤4%（标准样片结果）
10.选购功能	选购1.pc软件；选购2.方形探头；选购3.直线形探头；选购4.测试平台；5.标准电阻
11.测试探头	探针间距选购：1mm；2mm；3mm三种规格; 探针材质选购：碳化钨针;白钢针；镀金磷铜半球形针