TV－2KG分子泵

TV－2KG 分子泵

超典型应用－针对薄膜沉积设备而特别设计的抽气系统
是目前性能极优，造型超紧凑的机型
超新型的一体式抽气理念，旨在实现极大生产量和极短停机时间

系统界面

一体化的机型包括了涡轮分子泵，驱动配置，供电电源配置，气体保护配置机通信配置
通用的电子接口，便于用户使用控制软件
模拟I/O信号，标配为RS232或RS485接口
可选配Varian 通用总线控制接口

应用知识

在特定的应用领域，通用产品无法统统满足性能要求
TV－2KG是应广大用户的真实需求而开发，可实现用户满意度
配备独特，为工业镀膜行业量身定做
满足工业生产的工艺要求，得到工业界的认同

供货链及物流

通过有效的组织和计划，保证了在超合适的时间和地点提供配件，减少用户在当地的库存
供货链上各种相关产品能高效周转，用户只备少量库存亦可应付自如
Varian的客户服务组织采用先进的SAP系统，在全球共同运作

监测及故障诊断

具备自诊断功能
实时监测分子泵的各项参数，包括振动图谱
借助简单的数据连接，Varian的服务组织可以为您提供实时服务
主动的维护计划使分子泵的使用寿命及无故障运行时间大大延长

完善的支持

设有专门的服务电话，为您提供实时全程服务
各地的Varian代表使用您熟悉的语言与您沟通，为您提供技术/应用/订货/工程等方面的支持
提供极广泛的服务计划，即使苛刻的需求您也可以得到专门周到的服务

镀膜领域的应用包括

建筑玻璃镀膜，汽车玻璃镀膜，太阳能玻璃镀膜
平板显示屏镀膜
光学及电磁数据存储产品的镀膜，如读写探头
用于增强耐磨性能的表面处理
用于眼科透镜的光学镀膜及用于光学数据传输上的虑光镜镀膜
制备功能性薄膜及装饰型镀膜，包括金属化膜层
可应用于食品工业，包装业及电子产品行业的卷绕镀膜
可应用于气载叫道的PVD及其它等离子体工艺设备

可靠的设计

TV－2KG身为分子泵的一员，但性能更胜过普通分子泵，它是专为等离子体工艺领域设计开发的抽气系统。事实上，TV－2KG的各抽气级甚至整个泵的结构，都是以能在较高氩气负载和温度条件下保持上佳抽气性能为目标来优化设计的，它的电路系统具有更多附加特性，泵内还集成了放气和抽气阀门，其轴承具有免维护特性，这些优点无疑使TV－2KG成为应用在镀膜行业的非常好的分子泵。

独特的拖动级设计

TV－2KG虽然外形紧凑，但其拖动级的独特设计确保了在高原强下对氩气抽气使仍保持大抽气量。拖动级由一体化的两层盘片组成，这样的设计大大提高了散热效率，因而极大程度地降低了泵高速运转时的内部温度。

内置的充气及放气装置

TV－2KG将充气及放气阀集成于泵内，为世界首例。充气保护及放气过程的控制都由内部电路驱动完成，不再需要任何部件置于泵体外部。分子泵在这样周到的保护下，不易受到外部冲击和污染的损伤，因而极大限度地延长了使用寿命。

免维护

TV－2KG系统配置了Varian独有地轴承和无油润滑系统，可免维护长期运转。另外，它可任意位置安装，而丝毫不会降低其性能和寿命。

内置的温度监测系统

TV－2KG配备了特别的温度控制系统，使其能够实时监控泵的气载，功率，及冷却水温度，确保了材料负荷及轴承负荷在安全范围内工作。

内置型具有防水性能的电路系统

TV－2KG所有的电路系统，都置于泵的底壳内，具有防水特性，符合IP54规范。借助微处理器的强大功能，TV－2KG的控制接口能与外部控制系统方便地连接，并通过一台笔记本电脑和Navigator软件轻松实现各种控制。

分子泵选型指南

分子泵
产品型号	V70	V70D	V70LP	V301	V551	V701	V1001	V2000HT	V6000
转速 rpm	75000	75000	75000	56000	42000	42000	38000	33000	14000
进气口法兰 DN	40/63	40/63	40/63	100/160	100/160	200	160/200/250	250	500
出气口法兰DN	16	16	16	16	25	25	40	40	100
抽速 N 2 L/s	46/68	40/60	46/68	250/280	350/550	690	790/950/1050	1950	6000
压缩比 N₂	5×10⁷	5×10⁷	5×10⁸	7×10⁸	＞1×10⁹	1×10⁹	1×10⁹	＞1×10⁹	＞1×10¹⁰
极限压强 mbar	1×10^-9	＜1×10^-9	＜2×10^-10	＜5×10^-10	＜1×10^-10	＜1×10^-10	＜1×10^-10	1×10^-10	＜1×10^-10
启动时间 min	＜ 1	＜ 1	＜ 1	2.5	＜ 5	＜ 5	＜ 4	10	30